英特尔拟推双面供电14A Gen2工艺 迎战台积电与三星1.4纳米攻势
英特尔计划推出14A2工艺,采用双面供电架构并压缩金属间距至21纳米,以应对台积电和三星的1.4纳米攻势。此举可提升晶体管密度,但面临电阻增加等挑战,需借助复合供电方案维持稳定。
先说几个核心判断:半导体工艺竞赛已经进入白热化阶段,而英特尔这次放出的消息,可能会让整个行业的竞争格局发生微妙变化。
据韩国ETNews等多家行业媒体爆料,面对台积电和三星电子在1.4纳米级芯片制造上的步步紧逼,英特尔正在秘密调整自己的工艺路线图。具体来说,除了早前公布的14A标准工艺,英特尔还计划推出一款名为“14A2”(即14A Gen2)的改良版制程。这可不是简单的“挤牙膏”,而是一次技术层面的深度升级。

先看看对手们的节奏:台积电预计最快明年就让A14晶圆厂上线,三星则瞄准2029年实现1.4纳米工艺的量产。英特尔原本计划在未来一年内推出突破性的14A技术,以此吸引外部代工客户,重塑其晶圆代工业务。但现在看来,光是14A还不够,还得有14A2这个“技术增强包”。
技术架构层面,标准14A工艺采用的是“PowerDirect”技术,也就是背面供电网络(BSPDN)。不过最新消息显示,英特尔正在考虑在14A2中引入更激进的“双面”(Dual Side)供电架构——这意味着芯片的正面和背面都要承担供电任务。这可不是小改动,它直接关系到整个芯片的物理设计。
另一个关键参数是金属间距(Pitch)。标准14A的M0金属间距缩减至28纳米,而14A2则计划通过双重图形曝光(Double Patterning)等改良技术,进一步压缩至21纳米。要知道,基础版14A已经宣称能带来约30%的晶体管密度提升,14A2的密度增益无疑会更惊人。

不过,技术升级从来不是免费的午餐。21纳米的超细间距虽然能大幅提升High-NA EUV光刻机这类昂贵设备的利用率,提高单台机器的盈利能力,但也带来了一个棘手的问题——电阻大幅增加。同时,现有的纳米硅通孔(nTSVs)设计也难以承受如此高密度的电力负载。为了攻克这个瓶颈,据传英特尔已经采用了一种复合结构:继续将背面供电网络(BSPDN)作为核心的主要供电源,但同时将一部分电力配给分配给正面金属层,以维持整体电路的稳定。这相当于给芯片设计了一套“双保险”的配电方案。
从市场格局来看,台积电目前订单量几乎饱和,这让不少芯片设计厂商开始将目光投向英特尔和三星等其他代工厂。英特尔对重夺半导体制造领导地位充满信心,但作为晶圆代工市场的后来者,它仍需向外部客户证明大规模量产的实力。值得注意的是,后续的18A-P、14A以及全新曝光的14A2工艺,都已经成为整个半导体行业瞩目的焦点。这场1.4纳米级的竞赛,才刚刚拉开序幕。
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