聚光科技:7350系列质谱仪提升灵敏度和抗干扰能力
作者:暮色微凉
时间:2026-08-12
浏览:3
谱育科技7350系列三重四极杆ICP-MS/MS已批量交付,灵敏度、抗干扰及自动化联用等核心指标大幅提升。对半导体湿化学品、晶圆杂质等样品检测能力达sub-ppt水平,覆盖全场景超痕量检测,支持先进制程工艺规格与材料认证。
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有投资者向聚光科技(300203.SZ)提问,谱育科技那款7350系列三重四极杆电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS/MS),现在是不是已经开始批量交付了?产品性能跟国外相比,到底有没有差距,还是说已经更先进了?
7月13日,公司回应说,谱育科技今年3月发布的7350系列,在灵敏度、抗干扰能力以及自动化联用这些核心指标上,都实现了大幅提升。对于半导体领域那些典型的样品——比如湿化学品、晶圆杂质金属、硅烷、电子特气这些——检测能力已经稳定在sub-ppt水平。不夸张地说,这个精度相当高,不仅能覆盖半导体全场景的超痕量检测需求,而且灵敏度提升后,还能更好地支持半导体量测端的数据质量管理,为主流和先进制程提供更严格的工艺规格和材料认证。
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