魏哲家亲口实锤：台积电早已购入 High-NA EUV，数量是机密！
先说说这次股东会上最有意思的一个交锋。有股东直接抛出了一个挺尖锐的问题：外界传言台积电暂缓采购HighNA EUV光刻机，要是真这么做，会不会重蹈当年英特尔搁置EUV投入、最终在制程上掉队的覆辙？甚至质疑管理层是不是对自家技术实力有点太自信了。台积电董事长魏哲家当场就把这事儿给澄清了。他的回应很干脆
先说说这次股东会上最有意思的一个交锋。有股东直接抛出了一个挺尖锐的问题：外界传言台积电暂缓采购HighNA EUV光刻机，要是真这么做，会不会重蹈当年英特尔搁置EUV投入、最终在制程上掉队的覆辙？甚至质疑管理层是不是对自家技术实力有点太自信了。
台积电董事长魏哲家当场就把这事儿给澄清了。他的回应很干脆：设备早就买好了，正在用它推进多项技术研发。至于为什么没急着把它投入量产线，核心考量——说白了，成本。一个字，贵。High-NA EUV现在的生产成本确实偏高，台积电的策略是先持续优化它的生产力、想办法把成本降下来。公司会尽量发挥这套设备的优势，等时机成熟，自然就会正式上线。他最后还幽默地补了一句：公司不仅没有不投资，实际上已经买了，至于买了几台——不好意思讲。这句话一出，全场都笑了，也看得出台积电在先进制程布局上那份稳健和胸有成竹。
那么，这个被反复提及的High-NA EUV，到底是什么来头？它是目前半导体制造领域最先进的光刻技术，由荷兰ASML公司主导开发。你可以把它理解为传统EUV的“全面升级版”：在原有极紫外光刻（波长13.5nm）的底子上，将数值孔径从0.33大幅拉升到0.55，配合非对称光学系统，成像分辨率显著提升，能达到约8nm甚至更小的关键尺寸。这意味着什么？它可以直接支撑2nm、1.4nm乃至未来更先进制程的芯片量产。核心优势在于能让晶体管结构更密集、性能更强，主要服务于高性能AI芯片、先进逻辑芯片和高带宽内存的生产。
当然，代价也不小。设备体积庞大，单台价格高达3到4亿美元，技术复杂度和成本挑战都是前所未有的。说到底，它是一条延续摩尔定律、推动半导体行业进入埃米时代的关键利器。台积电现在的态度很清晰：不是不买，是买了但还没到大规模上线的火候——既要技术突破，也要算好经济账。
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