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上海AI实验室联合团队攻克芯片核心材料光刻胶稳定制备难题

上海AI实验室联合团队利用“书生”科学大模型构建“AI决策+自动化合成”闭环体系,攻克高端光刻胶树脂稳定制备难题,实现了高纯度、高一致性树脂的高效创制,并通过产业验证,为芯片材料自主可控提供创新路径。

光刻胶,这个听起来有些专业的名词,其实是芯片制造中不可或缺的核心材料。它的质量好坏,直接决定了芯片的性能和最终的生产良率。长期以来,高端光刻胶树脂的稳定制备技术,被极少数国外供应商所掌握,几乎成了一个“黑箱”。

不过,这个局面正在被打破。最近,上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等单位,依托国家重大科技专项,基于“书生”科学大模型与发现平台,构建了一套“AI决策+自动化合成”的闭环研发体系。这套体系成功实现了高纯度、高一致性的KrF光刻胶树脂创制,而且效率惊人。

这意味着什么?简单来说,芯片材料研发找到了一条全新的、可标准化且能快速迭代的路径。过去依赖经验和试错的传统模式,正在被数据驱动、智能决策的AI研发范式所取代。

目前,该平台已经支撑了多批次的自动化合成与性能验证。一个关键的进展是,批次间的一致性得到了显著提升,这对于大规模工业化生产至关重要。产业端的进展也紧随其后,厦门恒坤新材料公司利用自身在光刻胶配方上的深厚积累,已经完成了树脂的适配工作,各项关键指标均达到预期。接下来,就是进入客户端进行最终验证的阶段了。

从实验室的创新突破,到产业端的快速适配,这条由AI赋能的新路径,正在为全球芯片产业链的关键材料自主可控,提供一个极具价值的中国方案。

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